小型超純水設(shè)備的應(yīng)用使反滲透超純水設(shè)備
從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器得到了一次進(jìn)步。近年來開始在國外推廣應(yīng)用的EDI(電去離子)技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一
次革命，從此進(jìn)入了一個(gè)無需再生化學(xué)品，而能生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ?CM的超純水，用于半導(dǎo)體、集成電路等行業(yè)。國家經(jīng)委也已將RO + EDI
成套技術(shù)的應(yīng)用列入國家重點(diǎn)推廣范圍，對(duì)使用的企業(yè)給以政策上的優(yōu)惠.
小型超純水設(shè)備典型工藝流程為：
1: 預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點(diǎn)
2: 預(yù)處理-一級(jí)反滲透-二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點(diǎn)
3: 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點(diǎn)
4: 預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級(jí)RO裝置→二級(jí)RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點(diǎn)
水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí))
小型超純水設(shè)備設(shè)計(jì)原則：
品質(zhì)---依照客戶生產(chǎn)所需超純水的水質(zhì)要求及生產(chǎn)特點(diǎn)，并考慮水源的水質(zhì)(需客戶提供水質(zhì)分析報(bào)告或源水樣品)。
可擴(kuò)充性—系統(tǒng)分段設(shè)計(jì)規(guī)劃，考慮就近用水和生產(chǎn)安全需要，可依照生產(chǎn)線需求隨時(shí)擴(kuò)充產(chǎn)能，客戶可分階段投資。
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